氣體傳感器芯片可以用于檢測和測量空氣中特定氣體濃度，它們在許多領域中都有著廣泛的應用，包括環境監測、工業生產、醫療保健、安全檢測等。目前，氣體傳感器的應用日趨廣泛，在物聯網等泛在應用的推動下，其技術發展方向開始向小型化、集成化、模塊化、智能化方向發展。

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在佛山高新區南海園就有一家落戶不到兩年的高新企業——廣東邁能欣科技有限公司（以下簡稱：邁能欣），研發了多種MEMS氣體傳感器芯片和相關氣體納米材料，其研發水平對標國際頭部品牌，多項研究走在全國前列，運營的第一年產值達1000多萬元，產能迅速進入發展爬坡階段。

邁能欣生產車間。佛山市新聞傳媒中心記者/仇嘉輝 攝

近日，其高技術產業化創業團隊項目——車規級MEMS氣體傳感芯片、傳感器及系統的研究和產業化拿到了南海園90萬元扶持獎勵。

引領技術創新

研發傳感器“mini”型產品

“我們剛到這里的時候，這個項目還在研發中，目前項目已經進入了量產階段了。”邁能欣董事長李威說的“這個項目”就是“車規級MEMS氣體傳感芯片、傳感器及系統的研究和產業化”。

今年6月，邁能欣佛山總部兼制造中心的生產車間投入使用。在車間里，邁能欣工藝工程師坐在生產線工位上可以通過像素高達5000萬的顯微鏡，檢查BAS氣溶膠傳感器上的焊點。“電池作為新能源汽車的動力來源，電池安全是關鍵，針對動力電池熱失控風險，BAS氣溶膠傳感器可以安裝進新能源汽車電池包內，對電池安全進行監測，靈敏度非常高。”該工程師介紹。記者在現場看到，由各電子元器件和黑色外殼組裝構成的BAS氣溶膠傳感器非常小巧，體積僅約20立方厘米。

據了解，MEMS技術是將集成電路制造技術與硅加工技術結合在一起的新型芯片制造技術。隨著工業生產和科學研究對傳感器性能要求的逐漸提升，MEMS傳感器尺寸較小，現行的MEMS傳感器尺寸基本都達到了毫米級水平，更適應當前電子機械設備向著緊湊型、迷你型發展的總體趨勢。

與傳統的傳感器制造相比，MEMS技術工藝流程簡化，且所需的勞動力更少。另外，MEMS器件的主要材料是硅，令MEMS制造非常經濟高效，因此利潤非常可觀，成為高附加值產業。

“在國內，我們的技術應該是走得最快的了。”李威介紹，公司致力于自研芯片，專攻“卡脖子”問題，芯片對標國外該領域的頭部企業，在同等性能條件下，具備顯著的成本優勢，產品的綜合競爭力，可以說是同行中的“冠軍”，實現國產替代前景斐然。

專注研發核心技術

收獲多個大客戶

從2013年開始研發MEMS和納米材料，到2023年BAS氣溶膠傳感器、BPS電池包壓力傳感器、AQS、CO2、香氛產品投入量產，邁能欣經多年沉淀積累，處于行業領先水平，解決了多項“卡脖子”問題，擁有多項專利，也由此收獲不少大客戶，拿下了大量訂單。

據介紹，其多項專利主要包含2大核心技術：MEMS芯片和納米材料，在材料學上延伸到氣體處理材料和氫氣產生材料。

在傳感器領域，經過多年的研發累積，邁能欣已經能夠自主生產氣溶膠氣體傳感器（BAS）、熱失控壓力傳感器（BPS），空氣質量傳感器及系統(AQS)，二氧化碳傳感器(CO2)，氫氣傳感器等多種氣體傳感器。而在材料技術領域，基于納米材料的新一代車載香氛系統、車載香氛殺菌系統、去甲醛產品，以及殺菌消毒材料，應用于汽車市場和家居領域。其中，納米材料技術未來可延展到制氫儲氫領域。

在核心技術加持下，邁能欣的產品擁有顯著的成本性能競爭力和廣闊的市場前景。據了解，邁能欣圍繞“MEMS技術+納米材料技術+光學+核心算法”，護航新能源汽車安全，推進雙碳目標，與多家知名主流的主機廠項目達成合作，并與汽車行業和工業控制領域多家客戶展開深度交流和項目推進。

“技術優勢得到市場青睞，很快就拿到客戶訂單，當時客戶因交付需求需要更快拿到產品，我們采取委托代工廠生產和導入自有產線并行的方式，確保訂單交付，5月下旬，我們佛山總部兼制造中心的生產車間就進入了試生產。”李威表示，截至5月中旬，已經累計交付了10000多個傳感器，預計今年銷售額實現翻番。

“平臺+政策”帶動

政府誠意吸引更多創業團隊

“在來南海之前，其實珠海、合肥、蘇州等都邀請過我們，我也都去走訪調研過。”李威說，調研的主要方向是看哪個地方更適合落戶，由于公司合伙人和中科院蘇州納米所聯系緊密，在位于佛山高新區南海園的廣東中科半導體微納制造技術研究院介紹下，來到了南海。

在李威的“親身體驗”中，他認為當地政府的誠意十足。“南海園專業且高效，我們沒有花費太多時間精力在流程上，落戶非常順利迅速。”李威說。邁能欣還在南海享有雙重落戶補貼支持，不僅佛山高新區給予了500萬元高新技術產業化創業團隊落戶專項引導資金補貼，南海園也疊加了高技術產業化創業團隊項目落戶獎勵。

目前，邁能欣蘇州芯片研發中心、武漢產品研發中心、佛山總部兼制造中心共同形成多基地布局，覆蓋長三角、珠三角和中部地區。其總部所在的佛山人才創新燈塔產業園，是佛山“十大創新引領型特色制造業園區”中的中部創新強核主力軍，承擔著佛山加快推進高水平科技創新的使命。未來5至10年，這里要建設一批研發總部、孵化平臺、科研中心等高端載體，重點發展半導體與集成電路、人工智能、新材料、數字經濟產業，打造“三鏈”融合發展的新標桿、戰新產業培育的新典范。

李威表示，相信落戶這里，邁能欣定能把握更多機遇，在傳感器芯片領域不斷做強做大。

文/佛山市新聞傳媒中心記者 彭燕燕 通訊員 何汝莦 唐偉麥 凱楹

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